特許

J-GLOBAL ID：200903081954855797

ネガ型感光性組成物及びパターンの形成方法

発明者： 落合 為一 ,  高橋 徳明 ,  石黒 朋代
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-202505
公開番号（公開出願番号）：特開平5-224420
出願日： 1992年07月29日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤および酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤としてアルキレンビスメラミンのアルコキシメチル誘導体を含有するネガ型感光性組成物及びこれを用いたレジストパターンの形成方法。【効果】 本発明のネガ型感光性組成物は、ディープUV領域の波長の露光により高解像度のパターンプロフィールを得ることが可能であり、極めて有用である。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤および酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤を含有するネガ型感光性組成物において、架橋剤として下記式(I)で表される化合物を用いることを特徴とするネガ型感光性組成物。【化1】[式中、A1 〜A10は夫々独立して、水素原子、-CH2 OHまたは-CH2ORを示し、RはC1 〜C4 の直鎖又は分岐鎖アルキル基を示し、XはC2 〜C10の直鎖又は分岐鎖アルキレン基を示す。但し、A1 〜A10の少くとも4個は-CH2 ORであり、複数の-CH2 ORは同一でも異なっていてもよい。]

IPC (4件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027