特許
J-GLOBAL ID：200903081956453246
絶縁型静電チャックと励起方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-008378
公開番号（公開出願番号）：特開平6-047642
出願日： 1993年01月21日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：
【要約】【目的】 時間経過に伴いクランプ力が低下することのない、クランプの始動と解除が実現できる方法を提供する。【構成】 緩やかな方形波でスルーレートで制限されたACクランプ電圧と、バランスがとれた差動駆動を用いて、半導体ウエハ14のような平らな対象物を支持台30やウエハ移送ブレードなどに、クランプ電圧に対して大きなクランプ力で、ほぼ最大のクランプ力でクランプする方法。
請求項（抜粋）：
少なくとも一対の絶縁された電極を有する支持台に加工部材を静電的にクランプする方法であって、約0.1Hzより大きな周波数を有し支持台に対して加工部材を均一にクランプするのに充分な大きさを有する交流方形波電圧を前記一対の電極に印加する工程を有する方法。
IPC (4件)：
B23Q 3/15
, H01L 21/302
, H01L 21/68
, H02N 13/00
