特許
J-GLOBAL ID：200903081972134673
表面弾性波センサの製造方法および表面弾性波センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-532094
公開番号（公開出願番号）：特表2003-512621
出願日： 2000年09月15日
公開日（公表日）： 2003年04月02日
要約：
【要約】本発明は、表面弾性波構成素子をベースにした表面弾性波センサの製造方法および表面弾性波センサに関している。本発明の課題は、均質な吸着ポリマー層を形成することにあり、この課題は、気相からの堆積により、20〜200nmの間の厚さを有する高分子パリレン膜を表面弾性波構成素子の表面上に被着させ、これによってそれ自体親水性のセンサ表面を疎水化し、スプレーコーティングまたはドリップコーティングにより疎水性の吸着ポリマー膜をパリレン膜上へ被着させるか、もしくはスプレーコーティングまたはドリップコーティングにより、親水性の吸着ポリマー膜をパリレン膜上へ被着させ、その後で該パリレン膜をプラズマ活性化によって親水化させるようにして回テクされる。
請求項（抜粋）：
表面弾性波構成素子をベースにした表面弾性波センサの製造方法において、a)気相からの堆積により、20〜200nmの間の厚さを有する高分子パリレン膜を表面弾性波構成素子の表面上に被着させ、これによってそれ自体親水性のセンサ表面を疎水化し、b)スプレーコーティングまたはドリップコーティングにより疎水性の吸着ポリマー膜をパリレン膜上へ被着させ、もしくはc)スプレーコーティングまたはドリップコーティングにより、親水性の吸着ポリマー膜をパリレン膜上へ被着させ、その後で該パリレン膜をプラズマ活性化によって親水化させるようにしたことを特徴とする方法。
IPC (4件)：
G01N 29/18
, H01L 41/08
, H01L 41/18
, H01L 41/22
G01N 29/18
, H01L 41/22 Z
, H01L 41/08 Z
, H01L 41/18 101 A
2G047BC04
, 2G047CA01
, 2G047CB03
, 2G047EA21
, 2G047GB32
, 2G047GB33
, 2G047GB36
