特許

J-GLOBAL ID：200903081973543348

シリコンリボン製造装置

発明者： 五十嵐 万人 ,  町田 智弘 ,  布居 徹 ,  富田 孝司
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 晴康 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-346283
公開番号（公開出願番号）：特開2001-206798
出願日： 1996年07月17日
公開日（公表日）： 2001年07月31日
要約：

【要約】【課題】 凝固時の急冷を避け、制御された厚さを持ち、且つ一方の面はシリコン融液から直接成長するシリコンリボンの製造装置を提供することにある。【解決手段】 シリコン融液に回転冷却体を接触させて、前記シリコン融液から凝固成長させ、シリコンリボンを製造するシリコンリボン製造装置において、前記回転冷却体は、その表面に凹凸形状を有してなることを特徴とする

請求項（抜粋）：

シリコン融液に回転冷却体を接触させて、前記シリコン融液から凝固成長させ、シリコンリボンを製造するシリコンリボン製造装置において、前記回転冷却体は、その表面に凹凸形状を有してなることを特徴とするシリコンリボン製造装置。

IPC (4件)：

C30B 29/06 503 ,  C30B 15/06 ,  H01L 21/208 ,  H01L 31/04

FI (4件)：

C30B 29/06 503 ,  C30B 15/06 ,  H01L 21/208 Z ,  H01L 31/04 X

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-275119
  
• 特開昭63-064909