特許
J-GLOBAL ID:200903081978379180

作動中の制御機器の特性データの採取

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 角田 嘉宏
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-517413
公開番号(公開出願番号):特表平11-514761
出願日: 1996年10月24日
公開日(公表日): 1999年12月14日
要約:
【要約】データサンプル(A-L)は材料プロセス(13)の制御に使用される制御装置(10、11、12、16、17)から得られる。これらサンプルのうちの選択されたものは記憶され、制御機をその特性にわたって作動させた結果を示し、選択的に組み合わされて完全な機器特性の表示を提供する。選択されたかかるサンプルは、機器特性に基づいた選択された制御機器パラメータの情報を提供するために用いられる。
請求項(抜粋):
プロセス制御機器の作動性能を表すデータを採取するための方法であって、該方法は、 制御機器の作動中にこの制御機器の作動を示す最初の信号の一連を選択的に採取し、 上記プロセス制御機器の作動性能を判定するために上記信号の一連を評価することを含んでいる。
引用特許:
審査官引用 (5件)
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