特許

J-GLOBAL ID：200903081988189273

面内方向変位計

発明者： 古嶋 宏光
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (3件)： 高矢 諭 ,  松山 圭佑 ,  牧野 剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-376744
公開番号（公開出願番号）：特開2006-184091
出願日： 2004年12月27日
公開日（公表日）： 2006年07月13日
要約：

【課題】簡単な構成で高さ方向の変位を測定可能として、測定中の高さ方向変位が測定可能範囲に収まっているか否かを明確にし、測定値の信頼性を高めるとともに、形状が不明な測定対象に対して、測定可能か否か判別できるようにする。【解決手段】光ビームを測定対象10に投光し、測定対象面からの反射光を撮像素子34で受光して、面内方向の変位を測定する面内方向変位計において、測定対象面11に光ビーム24を投光する投光手段と、該投光ビームの正反射位置に配設され、測定対象面からの正反射ビーム26を、前記撮像素子の面内方向測定用受光領域34A以外に設定された高さ検出用受光領域34Bに導く反射手段(40)とを備え、該高さ検出用受光領域で受光された光量の重心を求めることにより、測定対象面の高さ方向位置を検出する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

光ビームを測定対象に投光し、測定対象面からの反射光を撮像素子で受光して、面内方向の変位を測定する面内方向変位計において、 測定対象面に光ビームを投光する投光手段と、 該投光ビームの正反射位置に配設され、測定対象面からの正反射ビームを、前記撮像素子の面内方向測定用受光領域以外に設定された高さ検出用受光領域に導く反射手段とを備え、 該高さ検出用受光領域で受光された光量の重心を求めることにより、測定対象面の高さ方向位置を検出するようにされていることを特徴とする面内方向変位計。

IPC (2件)：

G01B 11/02 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01B11/02 H ,  G01B11/00 H

Fターム (22件)：

2F065AA07 ,  2F065AA09 ,  2F065AA19 ,  2F065AA24 ,  2F065BB05 ,  2F065DD02 ,  2F065DD10 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065FF44 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065UU07

引用特許：

出願人引用 (2件)

• α1ECa2+チャネル機能障害に起因する疾病の予防・治療薬のスクリーニング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-333621   出願人：科学技術振興事業団
• 非接触3次元測定方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-002207   出願人：株式会社ミツトヨ