特許
J-GLOBAL ID：200903081988770324
流速計及び流量計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
瀧野 秀雄
, 越智 浩史
, 松村 貞男
, 垣内 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-289182
公開番号（公開出願番号）：特開2006-138839
出願日： 2005年09月30日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：
【課題】流速レンジの広い流体の流速乃至流量の高精度な測定を実現する。【解決手段】ガスの流路S上に配置したマイクロヒータ33を通電駆動する駆動回路がマイクロヒータ33に出力する正弦波の駆動信号と、流路Sにおけるガスの流れ方向にマイクロヒータ33から間隔をおいて配置したサーモパイル35がマイクロヒータ33から放出される熱を検出しその温度に応じて出力する流速信号との位相差に応じて、位相差信号出力回路が出力する位相差信号に基づいて、流路Sを流れるガスの流速を測定する流速計において、シリコンベース31上にマイクロマシニング加工により形成されるマイクロヒータ33とサーモパイル35とを、流路Sにおけるガスの流速がゼロである際にサーモパイル35が出力する流速信号の一波長以下の間隔をおいて配置する構成とした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被測定対象の流体の流路上に配置した熱源を通電駆動する駆動手段が該熱源に出力する、一定の周期で電圧が変化する周期電圧波形の駆動信号と、前記流路における流体の流れ方向に前記熱源から間隔をおいて配置した温度センサが前記熱源により放出又は吸収される熱を検出しその温度に応じて出力する流速信号との位相差に応じて、位相差信号出力手段が出力する位相差信号に基づいて、前記流路を流れる流体の流速を測定する流速計において、
前記熱源及び前記温度センサは、ベース上にマイクロマシニング加工により形成されており、
前記熱源と前記温度センサとは、前記流路における流体の流れ方向に、該流路における流体の流速がゼロである際に前記温度センサが出力する前記流速信号の一波長以下の間隔をおいて配置されている、
ことを特徴とする流速計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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