比較検査における画像の位置合せ方法、比較検査方法及び比較検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-184563
公開番号（公開出願番号）：特開2001-357382
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】検査対象画像を参照画像と比較してその差異から欠陥を検出する比較検査において、パターンの疎密や形状に依存しない高精度な位置合わせ方法及び装置を提供する。【解決手段】検査対象画像と参照画像をそれぞれ複数の領域に分割して、各分割画像間で位置ずれ量を算出し、これら複数の位置ずれ量のうち、信頼性の高い位置ずれ量のみを用いて画像全体の位置ずれ量を決定することにより、パターンの疎密や形状、画像間の輝度差の大小、画像内の輝度むらの大小によらず高精度な位置合わせが可能となる。また、位置合わせ精度をモニタすることにより必要に応じて検出感度の調整を行う。

請求項（抜粋）：

対象物を載置し、該対象物を移動させるステージと、該対象物を検出し、画像信号を出力する検出部と、該検出部から得られた画像を複数の小領域の検査対象画像と複数の小領域の参照画像に分割し、対応する画像を比較してそれぞれの位置ずれ量を検出し、検出された各小領域の画像の位置ずれ量のうち、信頼性の高い位置ずれ量を特定する画像処理部とを備え、該信頼性の高い位置ずれ量用いて検査対象画像全体と参照画像全体の位置合せを行うことを特徴とする比較検査装置。

IPC (4件)：

G06T 1/00 305 , G01B 11/00 , G06T 7/00 300 , G06T 7/60 150

FI (4件)：

G06T 1/00 305 C , G01B 11/00 H , G06T 7/00 300 E , G06T 7/60 150 B

Fターム (32件)：

2F065AA03 , 2F065AA14 , 2F065BB01 , 2F065CC19 , 2F065DD00 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065MM02 , 2F065PP12 , 2F065QQ03 , 2F065QQ11 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ31 , 2F065QQ36 , 2F065QQ42 , 2F065RR07 , 2F065SS13 , 2F065UU05 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057DA07 , 5B057DB02 , 5B057DC34 , 5L096DA02 , 5L096EA14 , 5L096FA34 , 5L096GA04 , 5L096GA19 , 5L096JA04

引用特許：

審査官引用 (1件)

外観検査装置およびその画像処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-021641 出願人：日立電子株式会社

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