特許

J-GLOBAL ID：200903082012123428

粒子検出方法

発明者： 富川 一也
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-341386
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172731
出願日： 1991年12月24日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：

【要約】【目的】 本発明は光を使用して粒子を検出する粒子を検出する粒子検出方法に関し、高精度に粒子を検出することを目的とする。【構成】 光源11からの照射光11aをハーフミラー12により分光し、それぞれの照射光11a1 ,11a2 をガルバノメータ13a1 ,13a2 により、管15の直径より広いシート光14a1 ,14a2 を形成する。このシート光14a1 ,14a2 を管15の側部水平方向より角度θ1 ,θ2 で照射し、二次元のCCDが配列された検出部17で該管16の斜め断面全域を受光する。そして、検出部17からの画像信号17aで処理部18により粒子15の数及び形状を検出する。

請求項（抜粋）：

所定の管(16)内を通過する粒子(15)を検出する粒子検出方法において、光源(11)からの光を所定数に分光し、それぞれ分光した光(11a1 ,11a2 )より前記管(16)の直径より広いシート光(14a1 ,14a2 )を形成する工程と、該所定数のシート光(14a1 ,14a2 )を、前記管(16)の側部水平方向より所定角度(θ1 ,θ2 )で照射する工程と、該管(16)内の該シート光(14a1 ,14a2 )が照射された照射領域に位置する粒子(15)からの散乱光(24)を、該シート光(14a1 ,14a2 )の方向と所定角度で二次元的に受光する工程と、該受光された画像信号(17a)により、該粒子(15)の数及び形状を検出する工程と、を含むことを特徴とする粒子検出方法。

IPC (2件)：

G01N 15/14 ,  G01N 15/02