特許

J-GLOBAL ID：200903082014338340

走査電子顕微鏡のクライオ装置

発明者： 鈴木 猛夫 ,  山田 満彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立計測エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-241717
公開番号（公開出願番号）：特開平6-208841
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：

【要約】【構成】試料前処理室の間に真空バルブ機構15を有し、上側に第1試料前処理室9が下側に第2試料前処理室12が設けてある。それに試料6の凍結に必要な液体窒素等の冷媒13を入れて急速凍結処理を施す。また、真空バルブ機構15の開閉によって液体窒素等の冷媒13の排出を行い、第1試料前処理室9の真空排気を可能にする。【効果】試料の急速凍結処理を施し、真空状態に保つため試料への霜等の付着を防止。また、走査電子顕微鏡におけるクライオ観察法の信頼性および装置性能を向上させる。

請求項（抜粋）：

走査電子顕微鏡のクライオ装置において、その試料前処理室内で試料の急速凍結処理を実現するため、前記試料前処理室に隣接して真空バルブの開閉により真空排気および液体窒素等の冷媒の導入可能な小空間を設けて、任意に冷媒の導入,排出および真空の排気,吸気を行うことが可能なことを特徴とする走査電子顕微鏡のクライオ装置。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/28