特許
J-GLOBAL ID：200903082024122494
鉛系複合ペロブスカイト型酸化物薄膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
古川 泰通 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-087893
公開番号（公開出願番号）：特開平5-051755
出願日： 1991年03月26日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：
【要約】【目的】鉛系複合ペロブスカイト型酸化物薄膜を低温で、かつ、構成成分のモル比のズレを生じさせることなく合成でき、しかもパイロクロア相の生成を容易に抑制できるようにし、もってコンデンサの小型化、高性能化を図ること。【構成】鉛の有機化合物溶液を作ってAサイトを構成する溶液を作り、Mg、Nbなどの金属元素のアルコキシド溶液を作ってBサイトを構成する溶液を作り、これらの溶液を均一に混合することにより複合アルコキシド溶液を得、得られた複合アルコキシド溶液を濃縮することにより薄膜形成に適した粘度の溶液となし、この溶液をディッピング法あるいはコーティング法などの適当な手段により基板に塗布して塗布膜を形成し、次いで、塗布膜に含まれる有機物の分解加熱処理を行なった後、さらに焼成することにより鉛系ペロブスカイト型酸化物薄膜を形成する。
請求項（抜粋）：
一般式:A(B’1-xB”x)O3、(但し、AはPbであり、B’、B”は2価〜6価の金属元素を表すと共に、B’およびB”をB’+n1-x、B”+mxと表したとき、n(1-x)+mx=4を満足する。)で表される鉛系複合ペロブスカイト型酸化物薄膜の製造方法において、Aサイトを構成する鉛の有機化合物若しくはその溶液を、B’、B”を構成する元素の各アルコキシド溶液の混合液に添加し、それらを均一に混合反応させて濃縮し、この濃縮溶液を基板表面に塗布して塗布膜を形成した後、塗布膜に含まれる有機物の加熱分解処理を行ない、さらに焼成することを特徴とする鉛系複合ペロブスカイト型酸化物薄膜の製造方法。
IPC (2件)：
C23C 18/12
, H01G 4/12 358
