特許
J-GLOBAL ID：200903082028834944
カンチレバーのバネ定数見積もり用冶具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-057713
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253348
出願日： 1997年03月12日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】特殊な工具を用いることなく、また液浸の状態においても、カンチレバーのバネ定数を見積もることを可能にするバネ定数見積もり用冶具を提供する。【解決手段】バネ定数見積もり用冶具60は、支持部62と、そこから延びるレバー部64と、その先端部に設けられた反射面66とを備えている。反射面66はレバー部64の面に対して10度の傾斜をもって支持されており、この傾斜角度は、カンチレバーホルダー40に取り付けられたカンチレバー42が水平面に対して成す傾斜角度に一致している。
請求項（抜粋）：
光てこ方式の変位検出系を有する走査型プローブ顕微鏡に使用されるカンチレバーのバネ定数を見積もるための冶具であり、弾性変形し得るレバー部と、レバー部を片持ちに支持する支持手段と、レバー部の自由端部に設けられた反射面であって、走査型プローブ顕微鏡に取り付けられたカンチレバーが変位検出系の光を反射する部分と同じ傾斜角度で支持される反射面とを備えている、カンチレバーのバネ定数見積もり用冶具。
IPC (4件)：
G01B 21/30
, G01B 11/00
, G01N 3/00
, G01N 37/00
G01B 21/30 Z
, G01B 11/00 A
, G01N 3/00 Z
, G01N 37/00 G
