特許

J-GLOBAL ID：200903082030222840

あな加工装置及びあな加工方法

発明者： 井上 秀昭
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-028549
公開番号（公開出願番号）：特開2001-212965
出願日： 2000年02月07日
公開日（公表日）： 2001年08月07日
要約：

【要約】【課題】吐出されるインク滴の飛翔方向が安定して周囲にサテライトも発生しない形状の吐出ノズルを容易に加工可能なあな加工装置を提供する。【解決手段】傾斜面を有するフォルダー22はヘリコンエッチング装置の支持台上に固定され、その傾斜面に沿って回転部材36が回転する。回転部材36上にはシリコンウエハが載置・固定される。シリコンウエハ23上のチップ基板11(インクジェットプリンタヘッド10)は回転部材36の回転に応じてその面を360度方向に経時的に且つ均一に循環してフォルダー22の有する傾斜角度だけ傾斜する。これにより、回転部材36の回転によるインクジェットプリンタ10の傾斜する姿勢の変化に応じて、酸素プラズマ38は、パターン孔17-1に対し矢印で示す酸素プラズマ38-1、39、38-2、41のように円錐面を形成しながらの照射され、末広がりの吐出ノズル18を穿設する。

請求項（抜粋）：

被加工体に対し加工エネルギーを放射することにより被加工体を異方性加工する加工手段と、該加工手段に対し前記被加工体を所定の角度だけ傾斜させて保持する保持手段と、被加工体の加工エネルギーが放射される面を360度方向に経時的に且つ均一に循環して前記所定角度だけ傾斜させる傾斜付与手段と、を有することを特徴とするあな加工装置。

IPC (3件)：

B41J 2/135 ,  B23K 26/00 330 ,  B23K 26/08

FI (3件)：

B23K 26/00 330 ,  B23K 26/08 D ,  B41J 3/04 103 N

Fターム (15件)：

2C057AF28 ,  2C057AF43 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG46 ,  2C057AP02 ,  2C057AP13 ,  2C057AP35 ,  2C057AQ03 ,  4E068AF01 ,  4E068CB05 ,  4E068CE04 ,  4E068CE09 ,  4E068DA00 ,  4E068DA14