特許

J-GLOBAL ID：200903082036705738

イオンビームからイオンを分離するための方法及び装置

発明者： ダル バハット ,  ディヴィッド ジー ウェルキー
出願人/特許権者： ザ パーキン-エルマー コーポレイション
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-238790
公開番号（公開出願番号）：特開2000-067807
出願日： 1998年08月25日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 空間電荷効果を阻止し検出器飽和という問題点を最小に抑えるため、イオン源のできるかぎりすぐ後方でキャリアガスイオンをビームから取り除くように構成することにある。【解決手段】 第1の場をイオンビーム対して角度をつけて加え、イオンをこれらの質量対電荷比に従って分散させる。そして特定の範囲の質量対電荷比を有する分散されたイオンをブロックする。次に、イオンビームに第2の場を加え、第1の場のイオンビームに対する作用を逆転させる。さらに、イオンビームに第3の場を加え、イオンビームを方向づけしコリメートする。

請求項（抜粋）：

イオンビームからイオンを分離するための方法において、第1の場を前記イオンビーム対して角度をつけて加え、前記イオンをこれらの質量対電荷比に従って分散させ、特定の範囲の質量対電荷比を有する分散されたイオンをブロックし、前記イオンビームに第2の場を加え、前記第1の場の前記イオンビームに対する作用を逆転させ、さらに、前記イオンビームに第3の場を加え、前記イオンビームを方向づけしコリメートすることを特徴とする、イオンビームからイオンを分離するための方法。

IPC (3件)：

H01J 49/06 ,  G01N 30/72 ,  G01N 27/62

FI (3件)：

H01J 49/06 ,  G01N 30/72 A ,  G01N 27/62 C

Fターム (4件)：

5C038FF01 ,  5C038FF10 ,  5C038FF11 ,  5C038HH11