特許
J-GLOBAL ID：200903082038311141
液晶用ガラス基板の熱処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-334716
公開番号（公開出願番号）：特開平9-179084
出願日： 1995年12月22日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 液晶用ディスプレイ用ガラス基板において、各種目的で塗布された材料の熱処理を行う装置の、温度分布均一化を図る。【解決手段】 ガラス基板の入口部2と出口部3とを有した空洞部4を設け、前記空洞部4の内部下面に単数又は副数枚の昇温部7用、均熱部8用、冷却部9用の各ホットプレート5及びコールドプレート21をこの順に設け、その上面にピン13を立設し、各プレート5、に対向する部分には反射板6をそれぞれ設置すると共に、前記空洞部4を複数段積み重ね、最下部に設けた駆動モータ10により搬送駆動部11を上下前後左右に駆動し、ビームサポート15により各空洞部4にそれぞれ設けられた搬送ビーム12に動きを伝達し、支持金具によりガラス基板を支持しながら各空洞部4を同時に搬送する枚葉式の搬送機構を有する。
請求項（抜粋）：
ガラス基板の入口部と出口部とを有した空洞部を設け、前記空洞部の内部下面に入口部から出口部に向い単数又は複数枚の昇温部用ホットプレート、複数枚の均熱部用ホットプレート、複数枚の冷却部用ホットプレート及びコールドプレートをこの順に設け、前記各ホットプレート及びコールドプレートの上面にピンを立設し、前記空洞部内の各プレートに対向する部分には反射板をそれぞれ設置すると共に、前記空洞部を複数段積み重ね、最下部に設けた駆動モータにより搬送駆動部を上下前後左右に駆動し、前記搬送駆動部に連結したビームサポートにより各空洞部にそれぞれ設けられた搬送ビームに動きを伝達し、各搬送ビームに設置した各複数本の支持金具によりガラス基板を支持しながら各空洞部を同時に搬送する枚葉式の搬送機構を有する熱処理装置であって、入口部に最も近い昇温部用ホットプレートの入口部側の端部、及び冷却部用ホットプレートに最も近い均熱部用ホットプレートの冷却部用ホットプレート側の端部にそれぞれ、独立制御のヒータを付設したことを特徴とする液晶用ガラス基板の熱処理装置。
IPC (2件)：
G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
