ワイヤソー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-346436
公開番号（公開出願番号）：特開平11-179644
出願日： 1997年12月16日
公開日（公表日）： 1999年07月06日
要約：

【要約】【課題】ワーク加工中におけるスラリーや切削塵の漏出を確実に防止することができるワイヤソーを提供する。【解決手段】本発明は、ワイヤソー10の複数の溝付ローラ18が配置された加工室17を覆うカバーを、外カバー34と内カバー36とで2重に構成し、外カバー34で複数の溝付ローラ18を覆い、内カバー36でインゴット30を覆ったので、インゴット30の切断中におけるスラリーや切削塵の漏出を確実に防止することができる。インゴット30の取り付け取り外し時には、外カバー34をウィンチ42で開放し、内カバー36をシリンダ装置62で開放させて加工室17を露出する。

請求項（抜粋）：

ワイヤを複数の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させることにより走行する前記ワイヤ列にワークを押しつけて多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記複数の溝付ローラが設置された加工室を覆うカバーを、外カバーと内カバーとで2重に構成し、該外カバー及び内カバーを開閉する開閉手段を設けたことを特徴とするワイヤソー。

IPC (2件)：

B24B 27/06 , H01L 21/304 611

FI (2件)：

B24B 27/06 D , H01L 21/304 611 W

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