特許

J-GLOBAL ID：200903082040993314

フレームめっき方法および薄膜磁気ヘッドの磁極の形成方法

発明者： 上島 聡史
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 星宮 勝美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-143017
公開番号（公開出願番号）：特開2001-323394
出願日： 2000年05月16日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】 光学的な限界によって決まる寸法よりも微細なめっきパターンを形成する。【解決手段】 本発明のフレームめっき法では、酸を発生させる材料を含む第1のレジストによって第1のレジストパターン53Aを形成し、第1のレジストパターン53Aを、酸の存在により架橋反応を生ずる第2のレジストで覆い、第1のレジストパターン53A中に酸を発生させ、第2のレジストのうち第1のレジストパターン53Aに接する界面近傍部分に架橋膜を形成し、第2のレジストのうちの非架橋部分を剥離して第2のレジストパターン54Bを形成してフレームを形成する。第1のレジストとしては、所定の式で示され、重量平均分子量が10000〜25000で、分子量分布が1.05〜1.25の狭分散である高分子化合物よりなるベース樹脂を含む化学増幅型ポジ型レジスト材料を使用する。

請求項（抜粋）：

レジストによるフレームを形成する工程と、前記フレームを用いてめっきを行ってめっきパターンを形成する工程とを備えたフレームめっき方法であって、前記フレームを形成する工程は、酸を発生させる材料を含む第1のレジストによって第1のレジストパターンを形成する工程と、前記第1のレジストパターンを、酸の存在により架橋反応を生ずる第2のレジストで覆い、第1のレジストパターン中に酸を発生させ、第2のレジストのうち第1のレジストパターンに接する界面近傍部分に架橋膜を形成し、第2のレジストのうちの非架橋部分を剥離して第2のレジストパターンを形成する工程とを含み、前記第1のレジストパターンと前記第2のレジストパターンとによって前記フレームを形成し、前記第1のレジストは、(A)有機溶剤(B)下記の一般式(1)で示される、重量平均分子量が10000〜25000で、分子量分布が1.05〜1.25の狭分散である高分子化合物よりなるベース樹脂【化1】(ただし、式(1)中のR1は水素原子またはメチル基である。R2は下記の一般式(2)で示される基である。また、R3はR2とは異なる酸不安定基である。【化2】式(2)中のR4、R5はそれぞれ独立して水素原子または炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり、R6は炭素数1〜10の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基であるか、またはR4とR5、R4とR6又はR5とR6とは環を形成していてもよい。環を形成する場合、R4、R5、R6はそれぞれ独立して炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基を示す。x、yはそれぞれ0または正数であるが、x、yが同時に0となることはない。zは正数である。x、y、zは、0≦x/(x+y+z)≦0.5、0≦y/(x+y+z)≦0.5、0.4≦z/(x+y+z)≦0.9の関係を満たす。)(C)酸発生剤(D)分子内に≡C-COOHで示される基を有する芳香族化合物を含有するレジスト材料よりなることを特徴とするフレームめっき方法。

IPC (7件)：

C25D 7/00 ,  C08K 5/09 ,  C08K 5/42 ,  C08L 25/18 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/40 511 ,  G11B 5/31

FI (7件)：

C25D 7/00 K ,  C08K 5/09 ,  C08K 5/42 ,  C08L 25/18 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/40 511 ,  G11B 5/31 D

Fターム (40件)：

2H025AA00 ,  2H025AB17 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ04 ,  2H025BJ05 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025DA13 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA40 ,  2H025FA41 ,  2H025FA43 ,  2H096AA27 ,  2H096BA20 ,  2H096HA05 ,  2H096HA23 ,  2H096HA27 ,  2H096JA04 ,  2H096LA01 ,  4J002BC121 ,  4J002EF097 ,  4J002EV296 ,  4J002FD206 ,  4J002GS01 ,  4K024AA03 ,  4K024BA11 ,  4K024BB09 ,  4K024BB14 ,  4K024FA07 ,  4K024FA08 ,  4K024GA16 ,  5D033BA13 ,  5D033DA04 ,  5D033DA08 ,  5D033DA09