特許
J-GLOBAL ID：200903082051155256
位置決め装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-124581
公開番号（公開出願番号）：特開平8-297508
出願日： 1995年04月26日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：
【要約】【目的】 実質的な移動体の位置決め時間の短縮および性能を向上させ、各目標位置情報の補正量を記憶する必要がなく、移動体の移動終了時から異なる時間に行われる工程や移動履歴の変更に対しても柔軟に対応して正確な位置決めを行えるようにする。【構成】 構造体上において、移動体6を現在位置から前記構造体上の第1の部分を基準とする位置に位置決めするために前記構造体上の第2の部分を基準とする目標位置(D1)に高速に移動し位置決めする位置決め装置において、位置決め終了時における前記構造体の変形による前記第1部分に対する前記第2部分の変位量もしくはこれに相当する量を求める手段10と、この変位量もしくはこれに相当する量に基づいて前記目標位置の補正量を得、前記目標位置または現在位置を補正する手段を具備する。
請求項（抜粋）：
構造体上において移動体を現在位置から前記構造体上の第1の部分を基準とする位置に位置決めするために前記構造体上の第2の部分を基準とする目標位置に高速に移動し位置決めする位置決め装置において、位置決め終了時における前記構造体の変形による前記第1部分に対する前記第2部分の変位量もしくはこれに相当する量を求める手段と、この量に基づいて前記目標位置の補正量を得、前記目標位置または現在位置を補正する手段を具備することを特徴とする移動体の位置決め装置。
IPC (6件)：
G05B 19/404
, B23Q 15/00
, B23Q 15/22
, G05D 3/12
, G12B 5/00
, H01L 21/68
G05B 19/18 G
, B23Q 15/00 C
, B23Q 15/22
, G05D 3/12 T
, G12B 5/00 T
, H01L 21/68 F
, H01L 21/68 K
