ポリイミド樹脂のエツチング溶液

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-172719
公開番号（公開出願番号）：特開平5-017604
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】【目的】硬化したポリイミド樹脂被膜のエッチング溶液に関するものである。その構成成分は水、及び水と相溶性を有する非プロトン性有機溶媒(N-メチルピロリドン、1,4-ジオキサン等)、及び水と相溶性を有するプロトン性有機溶媒(メタノール、エタノール、等)、更に塩基性化合物(水酸化カリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム等)を必須成分として含むものである。【効果】本発明のエッチング溶液は、安全で取扱いが容易であり、従来のものに比べて極めて速い速度で、完全に硬化したポリイミド樹脂をエッチングできる。

請求項（抜粋）：

水、及び水と相溶性を有する非プロトン性有機溶媒、及び水と相溶性を有するプロトン性有機溶媒、更に塩基性化合物から成る4成分を必須成分として含有することを特徴とするポリイミド樹脂のエッチング溶液。

IPC (4件)：

C08J 7/02 CFG , C09K 13/06 , H01L 21/308 , C08L 79:08

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