特許

J-GLOBAL ID：200903082058761968

ステージ装置および該ステージ装置を用いた露光装置

発明者： 米川 雅見
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-283712
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110699
出願日： 1999年10月05日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 弾性力を利用してステージを加減速する加減速機構を備えたステージ装置において、減速初期にステージが受ける急激な衝撃や振動を緩和する。【解決手段】 レチクル1を搭載するレチクルステージ2が可動子3と固定子4で構成されるリニアモータにより駆動される走行路の両端に、ばね9の弾性力を利用してステージ2を加速および減速するステージ加減速機構6を設け、ステージ加減速機構6のばね9よりもばね定数が小さい副ばね12、13からなる緩衝器をばね9に直列に取り付けて、この緩衝器により、ステージ2が減速初期に受けるばね9からの急激な力変化による衝撃や振動等を緩和し、衝撃や振動等によるレチクルずれを防止し、走査露光で重要な同期精度や露光装置の重ね合わせ精度を高精度に維持する。

請求項（抜粋）：

走行路に沿って移動可能なステージと、弾性力を利用して前記ステージを加減速するステージ加減速機構とを備え、該ステージ加減速機構は緩衝器を有することを特徴とするステージ装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  B23Q 1/28 ,  G03F 9/00 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

B23Q 1/28 ,  G03F 9/00 ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 B ,  H01L 21/30 516 B

Fターム (34件)：

2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB05 ,  2F078CB12 ,  2F078CC04 ,  2F078CC11 ,  2F078CC15 ,  2F078CC16 ,  2H097AB09 ,  2H097BA10 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  3C048BB10 ,  3C048BC02 ,  3C048CC07 ,  3C048CC17 ,  3C048DD01 ,  3C048DD26 ,  3C048EE10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA57 ,  5F031JA02 ,  5F031KA06 ,  5F031LA06 ,  5F031LA08 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F046AA23 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC17 ,  5F046CC20