特許

J-GLOBAL ID：200903082058782965

保護膜付き偏光板の検査装置および検査方法

発明者： 福井 俊明 ,  池田 順治
出願人/特許権者： タイヨー電機株式会社
代理人 (1件)： 小林 正樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-171874
公開番号（公開出願番号）：特開2005-009919
出願日： 2003年06月17日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：

【課題】この発明は、偏光板の欠陥を精度良く検出することができ、ひいては偏光板の効率的な自動検査が可能な偏光板の検査装置および検査方法の提供を目的とする。【解決手段】光源2と、光源2からの光を所定方向の直線偏光にする偏光フィルター3とを有し、偏光フィルター3からの直線偏光を被検査物である保護膜付き偏光板1に入射させ、偏光板1からの透過光に基づいて偏光板1の欠陥の検出を行う。光源2から偏光板1を透過する光路上に、偏光板1の保護膜14による光の複屈折を補償する位相差板4が配置する。これにより、偏光板1の保護膜14の位相変化をキャンセルして、保護膜14による光の複屈折を補償するので、偏光板1に存在する異物、傷、へこみなどの欠陥を精度良く検出することができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光源と、該光源からの光を所定方向の直線偏光にする偏光フィルターとを有し、前記偏光フィルターからの直線偏光を被検査物である保護膜付き偏光板に入射させ、保護膜付き偏光板からの透過光に基づいて保護膜付き偏光板の欠陥の検出を行うものとなされた保護膜付き偏光板の検査装置であって、前記光源から保護膜付き偏光板を透過する光路上に、保護膜付き偏光板の保護膜による光の複屈折を補償する位相差板が配置されてなることを特徴とする保護膜付き偏光板の検査装置。

IPC (4件)：

G01N21/958 ,  G01M11/00 ,  G01N21/88 ,  G02B5/30

FI (4件)：

G01N21/958 ,  G01M11/00 T ,  G01N21/88 H ,  G02B5/30

Fターム (15件)：

2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CC07 ,  2G051CC20 ,  2G051DA05 ,  2G086EE10 ,  2H049BA02 ,  2H049BA06 ,  2H049BB03 ,  2H049BB16 ,  2H049BC01 ,  2H049BC22