特許
J-GLOBAL ID：200903082076080323
形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
松村 修治 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-225705
公開番号（公開出願番号）：特開平5-067195
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 一次元光位置検出素子を複数個配列した撮像素子を用いて被測定物の形状を超高速に測定する形状測定装置に関し、素子数の増加に伴う周辺回路の肥大化を解決するとともに、高速に測定できるようにする。【構成】 スリット光102を発生するスリット光源101と、スリット光を被測定物104に投射し偏向するスリット走査部103と、被測定物104上のスリット像を一次元光位置検出素子が短辺方向に複数個配列された撮像面を有する撮像素子を用いて撮像する撮像装置105と、撮像装置105から出力される位置情報よりスリット像の撮像面上における位置を求め、これとスリット投射角から三角測量の原理に基づき測定点の三次元座標を演算する信号演算部106と、装置全体を制御し被測定物の形状データを取得し蓄積する全体制御部107で構成され、信号演算部106における信号を時分割多重して処理して信号演算部106の回路規模を抑制する。また、信号演算部106に撮像素子の補正手段を個別に設けて、位置演算精度の向上を図る。
請求項（抜粋）：
スリット光を生成するスリット光源と、前記スリット光を被測定物に投射し走査するスリット走査手段と、被測定物上からのスリット反射光を、一次元光位置検出素子が短辺方向に複数個配列された撮像面を有する撮像素子を用いて撮像する撮像手段と、前記撮像手段から同時に出力される位置情報よりスリット像の撮像面上における位置を算出する位置演算手段と、撮像面上でのスリット位置から三角測量の原理に基づき被測定物上の測定点の座標値を計算する座標演算手段と、装置全体を制御し被測定物の形状データを取得する全体制御手段とを具備し、前記位置演算手段の数を、前記撮像手段に用いる一次元光位置検出素子の素子数の、少なくとも4分の1以下に削減し、一つの位置演算手段で複数個の一次元光位置検出素子から出力される位置情報を処理するように構成することを特徴とする形状測定装置。
IPC (3件)：
G06F 15/62 415
, G01B 11/24
, G01C 3/06
