塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-116600
公開番号（公開出願番号）：特開平11-300258
出願日： 1998年04月27日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：

【要約】【課題】小型から大型まであらゆるサイズのガラス基板を吸着保持して塗布できるようにするとともに、ガラス基板の大型化に対応して塗布ヘッドが長尺化しても、基板と塗布ヘッドとのクリアランスを幅方向に均一にして、膜厚が均一で高速塗布可能な塗布装置及び塗布方法、並びにこれら装置及び方法を使用した簡便なカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】塗布液を供給する供給手段と、該供給手段から供給された塗布液を吸着盤に真空吸着された被塗布部材に塗布する塗布ヘッドと、該塗布ヘッドまたは被塗布部材の少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段とを備えた塗布装置において、前記吸着盤は被塗布部材と接触する表面を多孔質体で構成したことを特徴とする塗布装置、並びに塗布液吐出装置の塗液吐出先端面と被塗布部材との間の間隔を幅方向に調整する間隔調整手段を設けたことを特徴とする塗布装置。

請求項（抜粋）：

塗布液を供給する供給手段と、該供給手段から供給された塗布液を吸着盤に真空吸着された被塗布部材に塗布する塗布ヘッドと、該塗布ヘッドまたは被塗布部材の少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段とを備えた塗布装置において、前記吸着盤は被塗布部材と接触する表面を多孔質体で構成したことを特徴とする塗布装置。

IPC (5件)：

B05C 5/02 , B05C 13/02 , B05D 1/26 , B05D 3/00 , G02B 5/20

FI (5件)：

B05C 5/02 , B05C 13/02 , B05D 1/26 Z , B05D 3/00 C , G02B 5/20

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