特許

J-GLOBAL ID：200903082083264693

表面層欠陥検出装置

発明者： 広野 歩 ,  宗像 英明 ,  山田 真樹
出願人/特許権者： 富士ゼロツクス株式会社
代理人 (1件)： 田中 隆秀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-271488
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107196
出願日： 1991年10月18日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：

【要約】【目的】 感光部材表面等の所定の形状的精度または所定の物理的特性等を有する表面層の欠陥、特に塗布工程において発生する「むら」などの欠陥に対して、正しく欠陥信号を抽出することが可能な表面層欠陥検出装置を提供すること。【構成】 被検査体1の表面層欠陥を検出する装置において、被検査体1と略同様に構成された欠陥の無い被検査体表面の検出物理量に対応して設定された閾値を記憶する閾値記憶手段M1,M2と、被検査体1表面の所定部分の走査によって得られる検出物理量の平均値Vaを算出する平均値算出手段E1と、算出された前記検出物理量平均値Vaを記憶する検出物理量平均値記憶手段37と、前記所定部分の走査の後に続く走査で得られる検出物理量Viから前記検出物理量平均値Vaを減算した検出補正物理量Vi-Vaと前記閾値との差に対応する欠陥検出信号「0」,「1」を出力する欠陥検出信号出力手段C1,C2と、を備えている。

請求項（抜粋）：

基材とその表面に形成された表面層とを有する被検査体の表面の状態に関する測定可能な物理量を前記被検査体表面の直交する主走査方向および副走査方向に走査しながら検出する物理量測定装置を備え、この物理量測定装置によって検出される検出物理量により表面層欠陥を検出する表面層欠陥検出装置において、検査対象となる被検査体と略同様に構成された欠陥の無い被検査体表面の検出物理量に対応して設定された閾値を記憶する閾値記憶手段と、被検査体表面の所定部分の走査によって得られる検出物理量の平均値を算出する検出物理量平均値算出手段と、算出された前記検出物理量平均値を記憶する検出物理量平均値記憶手段と、前記所定部分の走査の後に続く走査で得られる検出物理量から前記検出物理量平均値を減算した検出補正物理量と前記閾値との差に対応する欠陥検出信号を出力する欠陥検出信号出力手段と、を備えたことを特徴とする表面層欠陥検出装置。

IPC (4件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01D 5/30 ,  G03G 5/00 101

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭58-211636
  
• 特開昭61-205806
  
• 特開平3-242540