特許

J-GLOBAL ID：200903082084251005

横搬送機構

発明者： 堀江 邦明
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-049655
公開番号（公開出願番号）：特開2001-233450
出願日： 2000年02月25日
公開日（公表日）： 2001年08月28日
要約：

【要約】【課題】 簡単な機構で被搬送物を大気と隔離した雰囲気下で搬送することができる横搬送機構を提供する。【解決手段】 駆動装置により駆動されるループ状かつ移動自在な無端ベルト12と、該ベルトの表面側に設けられた室20と、該室の前記ベルトの全周に沿って配置された少なくとも2つの空隙部Gと、前記室を大気側から隔離されたスペースとする前記空隙部に保持されたシール部材18とを備えた。

請求項（抜粋）：

駆動装置により駆動されるループ状かつ移動自在な無端ベルトと、該ベルトの表面側に設けられた室と、該室の前記ベルトの全周に沿って配置された少なくとも2つの空隙部と、前記室をベルトの裏面側から隔離されたスペースとする前記空隙部に保持されたシール部材とを備えたことを特徴とする横搬送機構。

IPC (4件)：

B65G 49/00 ,  B65G 15/00 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B65G 49/00 A ,  B65G 15/00 ,  B65G 49/07 A ,  H01L 21/68 A

Fターム (13件)：

3F023AB05 ,  3F023BA02 ,  3F023BB01 ,  3F023BC01 ,  5F031CA02 ,  5F031GA51 ,  5F031GA59 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031NA02 ,  5F031NA05 ,  5F031PA26