枚葉塗工方法及び枚葉塗工装置、カラーフィルタの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-333710
公開番号（公開出願番号）：特開2000-157906
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】ダイコータを用いた塗料の塗工工程において、塗工開始時及び塗工終了時の膜厚の盛り上がり部を低減し、有効領域を拡大する。【解決手段】塗料の溶媒或いは固形分濃度を薄くした塗料を希釈液として用い、塗料吐出装置の口金12に、塗料用のスリット6の他に上記希釈液用のスリット7を形成し、塗工開始時及び塗工終了時には、該スリット7より希釈液を吐出させることにより、スリット6から吐出される塗料に該希釈液を混合し、固形分濃度の薄い塗料を塗布させることによって、塗工開始時及び塗工終了時に形成される盛り上がり部の膜厚を低減する。

請求項（抜粋）：

被塗工材と塗料吐出装置の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させながら、上記被塗工材表面に塗料吐出装置のスリットより塗料を吐出させて塗膜を形成する枚葉塗工方法であって、塗料と該塗料の希釈液とを上記塗料吐出装置内或いは該装置からの吐出時において混合することにより、塗料の固形分濃度を変化させながら塗膜を形成することを特徴とする枚葉塗工方法。

IPC (5件)：

B05C 5/02 , B05D 1/26 , G02B 5/20 101 , G03F 7/16 501 , H01L 21/027

FI (5件)：

B05C 5/02 , B05D 1/26 Z , G02B 5/20 101 , G03F 7/16 501 , H01L 21/30 564 Z

Fターム (32件)：

2H025AA00 , 2H025AB13 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC15 , 2H025BC32 , 2H025EA04 , 2H025EA10 , 2H025FA04 , 2H025FA14 , 2H048AA09 , 2H048BA43 , 2H048BA45 , 2H048BA48 , 4D075AC14 , 4D075AC94 , 4D075BB95Y , 4D075CA48 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DC22 , 4D075DC24 , 4F041AA02 , 4F041AA06 , 4F041CA02 , 4F041CA04 , 4F041CA15 , 4F041CA16 , 5F046JA01 , 5F046JA27

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