特許
J-GLOBAL ID：200903082086727201
光軸補正方法、装置及びそれを利用した露光加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-353341
公開番号（公開出願番号）：特開平11-179579
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月06日
要約：
【要約】【課題】 光ビームの光軸の揺らぎを補正して常に安定な光ビームを得る。【解決手段】 光源レーザー装置1で発生されたレーザー光ビームが可動ミラー3(ミラー1)に入射され、この反射ビームが固定ミラー4(ミラー2)を介して可動ミラー6(ミラー3)に入射される。この反射ビームがハーフミラー7、8を介して変調器9に入射され、信号源10からの記録信号に従って変調された光ビーム(記録光)がミラー11で反射されて対物レンズ12に入射される。そしてこの対物レンズ12で集光されたレーザー光ビームが、例えばガラス基板13上に塗布された感光部材14に照射される。さらにハーフミラー7、8で分離された光ビームの一部がそれぞれ位置検出手段16、17(PSD1、2)に照射され、これらの検出信号がミラードライバ18に供給されてレーザー光ビームの光軸の揺らぎ解消するように可動ミラー3、6の駆動が行われる。
請求項（抜粋）：
互いに直交する空間3軸の内の第1軸の方向に入射された光ビームを第2軸の方向に反射し、この反射された光ビームをさらに第3軸の方向に反射して出射すると共に、この出射された光ビームの位置を第1及び第2の距離で検出し、これらの検出値の差が0になるように上記第1軸から第2軸の方向及び第2軸から第3軸の方向への反射の角度を調整し、上記第1または第2の検出値が所定値となるように上記第1軸から第2軸の方向及び第2軸から第3軸の方向への反射の位置を調整することを特徴とする光軸補正方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B23K 26/04 A
, B23K 26/06 C
, B23K 26/06 Z
