特許
J-GLOBAL ID:200903082087161570
モデルパラメータ抽出方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
金田 暢之 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-102720
公開番号(公開出願番号):特開2000-293566
出願日: 1999年04月09日
公開日(公表日): 2000年10月20日
要約:
【要約】【課題】 シミュレーション時間短縮およびパラメータ精度向上を図る。【解決手段】 しきい値電圧の異なる少なくとも3つのサンプル素子のそれぞれについて電気特性を測定し、該測定データから所定のモデル式の係数であるモデルパラメータを非線形最適化によって求め(ステップS11)、該各サンプル素子毎に求められたモデルパラメータについて、それぞれ対応する係数を一律に回帰分析して回帰直線を求め(ステップS12)、該回帰直線を用いて任意のしきい値電圧のサンプル素子に関するモデルパラメータを求めるようにする。
請求項(抜粋):
しきい値電圧の異なる少なくとも3つのサンプル素子のそれぞれについて電気特性を測定し、該測定データから所定のモデル式の係数であるモデルパラメータを非線形最適化によって求める第1のステップと、前記各サンプル素子毎に求められたモデルパラメータについて、それぞれ対応する係数を一律に回帰分析して回帰直線を求め、該回帰直線を用いて任意のしきい値電圧のサンプル素子に関するモデルパラメータを求める第2のステップとを含むことを特徴とするモデルパラメータ抽出方法。
IPC (2件):
FI (3件):
G06F 15/60 662 G
, G01R 31/28 F
, G06F 15/60 664 K
Fターム (8件):
2G032AB01
, 2G032AC08
, 5B046AA08
, 5B046BA03
, 5B046JA04
, 9A001BB05
, 9A001GG05
, 9A001HH32
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