薄膜イメージセンサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-199346
公開番号（公開出願番号）：特開平6-045578
出願日： 1992年07月27日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】出力信号間でのクロストークの小さいマトリックス信号配線部を具備した薄膜イメージセンサを小型、低コストで実現する。【構成】マトリックス構成配線部に線間シールド配線Sを具備し、線間シールド配線Sが、出力個別信号配線Pと共通信号配線CLとの交差部近傍を除き個別信号配線に沿い、かつ、共通信号配線の導体層と線間シールド配線の導体層とが層間絶縁層で隔てられ、異なるレベルの成膜層で形成する。

請求項（抜粋）：

複数の光電変換素子と、前記各光電変換素子から出力される個別信号配線と、前記個別信号配線を接続する共通信号配線と、前記各信号配線による交差部とから構成されるマトリックス信号配線部を有する薄膜イメージセンサにおいて、前記マトリックス信号配線部に線間シールド配線を具備し、前記線間シールド配線が前記交差部近傍を除き個別信号配線に沿いかつ、前記共通信号配線の導体層と前記線間シールド配線の導体層とが層間絶縁層で隔てられ、たがいに異なるレベルの成膜層で形成されていることを特徴とする薄膜イメージセンサ。

IPC (4件)：

H01L 27/146 , H01L 27/14 , H04N 1/028 , H04N 5/335

FI (2件)：

H01L 27/14 C , H01L 27/14 K

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