特許
J-GLOBAL ID：200903082114404626
キャリアレスウェーハ洗浄装置におけるウェーハ搬送制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-226310
公開番号（公開出願番号）：特開平6-168926
出願日： 1992年08月26日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】ウェーハに衝撃力を与えることなくソフトなハンドリング操作で搬送ロボットによるウェーハの取り出し,受け渡しが行えるようにしたキャリアレスウェーハ洗浄装置におけるウェーハ搬送制御方法を提供する。【構成】ステーション内に並ぶ薬液槽,リンス槽に対し、搬送ロボットに搭載した2フィンガ形メカニカルハンドでウェーハを直接把持してウェーハ取り出し,受け渡し,および槽間移送するに際に、ウェーハ取り出し工程では、ハンドを開いたままフィンガを槽内の最下位置に降ろした後にハンドを閉じ、続くハンド引き上げ行程の途上でウェーハ受け台上に並ぶウェーハをフィンガが下方から掬い上げてチャッキングする。また、ウェーハ受け渡し工程では、ハンドを槽内に降ろす行程の途上でウェーハを槽側のウェーハ受け台にランディングさせた後、槽内の最下位置でハンドを開いてから槽外に引き上げるよう操作制御する。
請求項（抜粋）：
ステーション内に並ぶ薬液槽,リンス槽などの処理槽に対し、ウェーハ搬送ロボットの操作によりウェーハを直接把持して槽間搬送し、洗浄プロセス処理を行うキャリアレスウェーハ洗浄装置を対象としたウェーハ搬送制御方法であり、ウェーハ搬送ロボットに搭載した2フィンガ形メカニカルハンドの操作により、処理槽のウェーハ受け台との間でウェーハの取り出し,受け渡しを行うようにしたものにおいて、ウェーハ取り出し工程では、ハンドを開いたままフィンガを槽内の最下位置に降ろした後にハンドを閉じ、続くハンド引き上げ行程の途上でウェーハ受け台上に並ぶウェーハをフィンガが下方から掬い上げてチャッキングし、ウェーハ受け渡し工程では、ハンドを槽内に降ろす行程の途上てウェーハを槽側のウェーハ受け台にランディングさせた後、槽内の最下位置でハンドを開いてから槽外に引き上げるよう操作制御することを特徴とするキャリアレスウェーハ洗浄装置におけるウェーハ搬送制御方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/68
