多極高電圧電場発生装置の正負交代電極

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-395544
公開番号（公開出願番号）：特開2003-197139
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：

【要約】【課題】電極材質をステンレスに代えて、市販で容易に入手できる材質の中でも極めて比重の小さい導電性カーボン樹脂(比重1.6)を基本材料に使用し、電極の超軽量化を図ることができる多極高電圧電場発生装置の正負交代電極を提供する。【解決手段】多極高電圧電場発生装置の正負交代電極において、骨格構造の保持棒4,5,6,7に固定される複数の絶縁支持部材1〜3で保持される導電性カーボン樹脂超軽量電極9を具備する。

請求項（抜粋）：

上流の径が大きく下流に行くに従って径が小さくなるように長尺方向へテーパを有するとともに、骨格構造の保持棒に固定された複数の絶縁保持部材に保持される導電性カーボン樹脂超軽量電極を具備することを特徴とする多極高電圧電場発生装置の正負交代電極。

IPC (3件)：

H01J 37/04 , H01J 37/30 , G21K 1/00

FI (3件)：

H01J 37/04 Z , H01J 37/30 , G21K 1/00 A

Fターム (1件)：

5C030BB09

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平4-067549
高速原子線発生源
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-030081 出願人：株式会社荏原製作所
分子線エピタキシー装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-102300 出願人：新日本製鐵株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

分子研レターズ44, 200107, 70-71頁

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