特許

J-GLOBAL ID：200903082124782866

半導体製造装置

発明者： 市村 悟
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-196403
公開番号（公開出願番号）：特開2003-017542
出願日： 2001年06月28日
公開日（公表日）： 2003年01月17日
要約：

【要約】【課題】半導体製造装置に於いて、カセットの授受装置の構造を簡潔にし、又駆動源を減少して制御の信頼性を向上させる。【解決手段】外部との間でカセットを授受する授受装置を具備した半導体製造装置に於いて、前記授受装置がカセットを受載するスライド板44,45を有し、該スライド板を前後方向、左右方向の2方向に移動自在に設け、該スライド板を前後、左右のいずれか1方向に駆動する駆動手段36を設けると共に前後、左右のいずれかの移動を左右、前後の移動に変換する変換手段48,49を設けた。

請求項（抜粋）：

外部との間でカセットを授受する授受装置を具備した半導体製造装置に於いて、前記授受装置がカセットを受載するスライド板を有し、該スライド板を前後方向、左右方向の2方向に移動自在に設け、該スライド板を前後、左右のいずれか1方向に駆動する駆動手段を設けると共に前後、左右のいずれかの移動を左右、前後の移動に変換する変換手段を設けたことを特徴とする半導体製造装置。

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 V

Fターム (12件)：

5F031DA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031JA01 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031LA11 ,  5F031LA12 ,  5F031LA15 ,  5F031LA16 ,  5F031MA15