特許
J-GLOBAL ID：200903082130523074
多素子固体放射線検出器及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-243270
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090420
出願日： 1996年09月13日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 基板4上に所定ピッチで配列されるフォトダイオードの各々に一対一対応でシンチレータ1が接合配置され、このシンチレータの相互間には光遮蔽用隔離壁を設けてなる放射線検出素子アレイ10を備える多素子固体放射線検出器において、各検出素子間のピッチのばらつきを防止してこれによる画質の低下をなくし、また各検出素子自体の特性も均一化してこれによる画質の低下もなくし、更に生産性の向上を図る。【解決手段】 均一寸法の溝が配列された枠体の当該各溝6c内に、その溝の内形状に適合する均一外形状のシンチレータ1を挿入し、かつ隣接する隔離壁6bと接合することで、シンチレータ1及び隔離壁6cの配列位置決めすることとして、アレイ状のシンチレータ列の位置決め設定を高精度で実現可能とする。
請求項（抜粋）：
基板と、この基板上に所定のピッチで複数配列されるフォトダイオードと、このフォトダイオードの各々に一対一対応で接合配置されるシンチレータと、このシンチレータの相互間に設けられる光遮蔽用の隔離壁とを備えてなる放射線検出素子アレイを備える多素子固体放射線検出器において、隔離壁として機能可能の所定の幅及び長さの板状素材から、その幅方向に、各々均一幅の隔離壁となる部分を残して所定の開口幅、深さをもつ均一寸法の溝が複数配列形成されてなる枠体の当該各溝内に、その溝の内形状に適合する均一外形状のシンチレータが挿入され、かつ隣接する隔離壁と接合されることで、前記シンチレータ及び隔離壁の配列位置決めがなされることを特徴とする多素子固体放射線検出器。
FI (2件)：
G01T 1/20 E
, G01T 1/20 G
