特許
J-GLOBAL ID：200903082132467341
ウェーハ洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-268987
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120318
出願日： 1992年10月08日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】従来装置と同等な洗浄処理機能を確保しつつ、しかも装置全体で小形,コンパクト化の推進が図れるようにしたウェーハ洗浄装置を提供する。【構成】工程間キャリア19に収納して前処理工程より搬入されたウェーハを、該キャリアより取出して洗浄処理した後、再び工程間キャリアに移載して次の処理工程へ搬出するウェーハ洗浄装置であり、クリーンブースとして構成されウエットステーション1を二階建で構築し、その一階部分には洗浄処理部3,ローダ部6, アンローダ部11を、二階部分には工程間キャリアを一時的に保管管理するストッカ部15を配置し、かつ一階と二階の間に工程間キャリアを上げ下げ移動するエレベータを備える。
請求項（抜粋）：
工程間キャリアに収納して前処理工程より搬入されたウェーハを、該キャリアより取出して洗浄処理した後、再び工程間キャリアに移載して次の処理工程へ搬出するウェーハ洗浄装置であり、クリーンブースとして構成されたステーション内に洗浄処理部,ローダ部, アンローダ部, および工程間キャリアを保管するストッカ部を備えたものにおいて、ステーションを二階建で構築し、一階部分には洗浄処理部,ローダ部, アンローダ部を、二階部分には工程間キャリアのストッカ部を配置し、かつ一階と二階の間に工程間キャリアを上げ下げ移動するエレベータを備えたことを特徴とするウェーハ洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B08B 3/04
, H01L 21/304 341
