特許

J-GLOBAL ID：200903082134329809

インクジェット式記録ヘッド

発明者： 松沢 明 ,  矢崎 士郎
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-019215
公開番号（公開出願番号）：特開2002-219804
出願日： 2001年01月26日
公開日（公表日）： 2002年08月06日
要約：

【要約】【課題】 保護膜の膜厚を減じることなく、振動部の変位量が大きく、高性能で高集積化が可能なインクジェット式記録ヘッドを提供する。【解決手段】 振動板上に少なくとも圧電体膜及び上部電極を順次積層して形成された圧電体素子と、前記圧電体素子を覆い前記振動板に密着する保護膜とを備え、前記振動板上には、前記保護膜に対する密着性が前記上部電極より高い面を有する。保護膜にはパリレンを用い、保護膜と振動板との密着性を向上させる密着層としてクロムを用いる。上部電極と保護膜との密着性が低いので、保護膜の膜厚が振動部全体の変位量に与える影響を小さくすることができ、振動部の変位量が大きくなる。振動部の変位量を大きくすることにより、インクジェット式記録ヘッドの高性能化も可能となる。

請求項（抜粋）：

振動板上に少なくとも圧電体膜及び上部電極を順次積層して形成された圧電体素子と、前記圧電体素子を覆い前記振動板に密着する保護膜とを備え、前記振動板上には、前記保護膜に対する密着性が前記上部電極より高い面を有するインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (19件)：

2C057AF37 ,  2C057AF66 ,  2C057AF93 ,  2C057AG16 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP52 ,  2C057AP54 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 液体噴射ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-201087   出願人：セイコーエプソン株式会社