特許
J-GLOBAL ID：200903082135505600
熱式流量計
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-368801
公開番号（公開出願番号）：特開2002-168669
出願日： 2000年12月04日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：
【要約】【課題】 熱線が設けられた測定チップをセンサー部とするものであって、測定チップの熱線と電気回路との接続に関し、ワイヤーボンディングの使用を回避した熱式流量計を提供すること。【解決手段】 測定チップ11が実装された基板21Aをボディ41Aに密着させることにより、ボディ41Aの内部において、主流路Mとセンサー流路S1とを形成すると同時に、測定チップ11に設けられた温度センサー用熱線と流速センサー用熱線を、センサー流路S1に橋設された状態にして、基板21Aの裏面の電気回路を介し、ボディ41Aの内部を流れる計測対象気体の流量を測定する。また、測定チップ11に設けられた温度センサー用熱線と流速センサー用熱線は、測定チップ11の熱線用電極と基板21Aの電気回路用電極とが接着されることによって、基板21Aの裏面の電気回路に接続される。
請求項（抜粋）：
熱線と前記熱線に接続する熱線用電極とが設けられた測定チップと、前記熱線を用いた計測原理を行うための電気回路に接続する電気回路用電極が表面に設けられた基板と、前記基板が密着することにより主流路が形成されるボディとを備え、前記測定チップ又は前記基板に溝が設けられており、前記熱線用電極と前記電気回路用電極とを接着して前記測定チップを前記基板に実装することによって、前記主流路に対するセンサー流路を前記測定チップと前記基板との間に前記溝で形成するとともに、前記センサー流路に前記熱線を橋設させたこと、を特徴とする熱式流量計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01F 1/68 104 A
, G01F 1/68 202 A
