特許
J-GLOBAL ID：200903082138484485
ゲートバルブ,それを備える試料処理装置及び試料処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-176058
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004505
出願日： 1999年06月22日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】 反応生成物が付着せず、パーティクルを低減できるゲートバルブ,試料処理装置及び試料処理方法。【解決手段】 プラズマ処理装置の処理室に臨んで配設されているゲートバルブ1は、弁体21,弁体支持ブロック22,ヒータブロック11,ゲートバルブ1を開閉させる管軸32及び真空を保持するベローズ31を備えている。ヒータブロック11は弁体21内に着脱可能に嵌装されており、弁体21と弁体支持ブロック22とは螺子24により分解可能に組立てられている。ヒータブロック11にはシースヒータ12及びシース熱電対13が埋設されており、ヒータブロック1及び弁体21の温度を検出しつつ加熱する。
請求項（抜粋）：
処理室に臨み、該処理室への試料の搬出入のために開閉動作を行なうゲートバルブにおいて、弁体と、該弁体を加熱する加熱手段とを備えることを特徴とするゲートバルブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 1/28 G
, G01N 1/32 B
