特許
J-GLOBAL ID：200903082140980384
除振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-125798
公開番号（公開出願番号）：特開平5-321979
出願日： 1992年05月19日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】縮小投影露光装置のロッキングモードを無くし、水平並進振動のみの挙動として、装置本体の相対変位量を最小にする。【構成】エアベアリング2を、ベース3の上面,下面、もしくは上下面に対して構成して、鉛直方向を拘束する。【効果】外部振動を除振したまま、水平並進振動のみとなり、XYステージのステップ外力により装置本体の相対変位量を最小にでき、スループットを向上できる。
請求項（抜粋）：
半導体製造用縮小投影露光装置のステージによる水平方向ステップ外力を受ける装置構造体において、露光光軸にかかわる各構成品部位の強制振動変位を最小にするために前記水平方向のステップ外力の作用に対し前記装置構造体が水平方向並進振動挙動をとるように鉛直方向を拘束した除振機構を有したことを特徴とする除振装置。
IPC (3件)：
F16F 15/04
, H01L 21/027
, H01L 21/68
