特許
J-GLOBAL ID：200903082151749498
平面度測定方法および測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
児玉 俊英
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-145913
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337867
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 対象物の被測定面の形状に係わらず、測定系平面と被測定面を平行にしなくても、平面度の測定ができるようにする。【解決手段】 測定軌跡8a上での測定変位量を被測定面の傾きに応じて真円形状の仮想軌跡14a上の仮想変位量に換算し、これから基本波成分を除いて補正仮想変位量を求め、これを測定軌跡8a上の値に復元した補正変位量から平面度を求める。
請求項（抜粋）：
一定の測定系平面から被測定面までの変位量を、上記測定系平面に垂直なz軸の周りの所定角度間隔で、上記測定系平面内の測定軌跡に沿って測定し、その測定変位量を上記z軸の周りの角度θで表したときの基本波成分から上記測定系平面と被測定面との間の傾き角度αを求め、この傾き角度αを用いて上記測定変位量を、真円形状の仮想軌跡に沿った仮想変位量に換算し、この仮想変位量からこれに含まれる基本波成分を除去して補正仮想変位量を求め、上記傾き角度αを用いて上記補正仮想変位量を上記測定軌跡に沿った補正変位量に復元換算し、この補正変位量から上記被測定面の平面度を求めることを特徴とする平面度測定方法。
Fターム (20件)：
2F069AA54
, 2F069CC06
, 2F069DD16
, 2F069DD25
, 2F069DD30
, 2F069GG01
, 2F069GG59
, 2F069GG62
, 2F069HH02
, 2F069HH14
, 2F069HH15
, 2F069JJ06
, 2F069JJ10
, 2F069JJ25
, 2F069JJ27
, 2F069MM04
, 2F069MM32
, 2F069NN07
, 2F069NN08
, 2F069RR05
