特許
J-GLOBAL ID：200903082158237921
反射偏芯測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-006042
公開番号（公開出願番号）：特開2000-205998
出願日： 1999年01月13日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：
【要約】【課題】フォーカスレンズ系の調整誤差や被検レンズ面の曲率半径に影響を受けずに、被検レンズ面の反射偏芯測定ができる高精度な反射偏芯測定装置を提供する。【解決手段】光源1から発した照明光Kは指標9及びフォーカスレンズ系2を備えた照明光学系5〜2を通過した後に光路分割手段10に入射し、光路分割手段10を透過し又は反射した照明光Kは被検レンズ系6の被検面6aに入射し、被検面6aで反射した測定光Kは光路分割手段10に入射し、光路分割手段10で反射し又は透過した測定光Kは集光レンズ7を透過して位置センサー8に入射し、被検面6aで反射した測定光Kが平行光となるように、照明光学系5〜2により指標9の像を被検面6aの近軸焦点に投影した。
請求項（抜粋）：
光源から発した照明光は指標及びフォーカスレンズ系を備えた照明光学系を通過した後に光路分割手段に入射し、該光路分割手段を透過し又は反射した前記照明光は被検レンズ系の被検面に入射し、該被検面で反射した測定光は前記光路分割手段に入射し、該光路分割手段で反射し又は透過した前記測定光は集光レンズを透過して位置センサーに入射し、前記被検面で反射した測定光が平行光となるように、前記照明光学系により前記指標の像を前記被検面の近軸焦点に投影したことを特徴とする反射偏芯測定装置。
Fターム (1件)：
引用特許：
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