特許
J-GLOBAL ID：200903082171180980
透過波面測定用干渉計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-260788
公開番号（公開出願番号）：特開平5-099613
出願日： 1991年10月08日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 光源の単色性が充分でない場合でも、所定範囲の波長に対して干渉縞の位相が略揃い、コントラストが高くなり、高精度の測定検査ができる。【構成】 光源系1と入射光路を分割する光分割素子2と該光分割素子2からの光束をそれぞれ反射する参照側と被検側反射鏡3、7を備え、両光束を観測面5で形成された干渉縞を観測する干渉計において、参照光路の長さを被検光路から独立して設定でき、而もその参照光路長を、被検光路の光源の中心波長に対する光学的距離に被検光学部品の波長屈折率分散を考慮した補正を加えて設定して成る。
請求項（抜粋）：
所定のスペクトル幅を有する光源から発した光束を二分割し、一方を参照光束、他方を被検光束とし、該被検光束中に、光学材料素子で構成された被検物たる光学部品を挿入し、前記参照光束と前記光学部品を通過した後の被検光束を重合わせ干渉縞を形成するよう構成した干渉計に於いて、参照光束の機械的光路長Lrを次式若しくはそれらと同様の物理的意味を有する式により算出されるLr0 に対し、Lr0 -L/n ≦Lr≦Lr0 +L/Nの範囲内に設定し参照光路を構成したことを特徴とする透過波面測定用干渉計。ここでLr0 は、とする。但し、Lt' は光源からの光束が分割されてからの被検光路の機械的距離、λ0 は光源スペクトルの代表波長、k は被検物を構成する光学材料素子の素子数、Ni(λ0)は被検物におけるi番目の光学材料素子の波長λ0 に対する屈折率、(dt)i はi 番目の光学材料素子の光軸に沿った距離、P は参照光路に挿入された光学材料素子の数、Nj(λ0)は参照光路に挿入されたj 番目の光学材料素子の波長λ0 に対する屈折率、(dr)j は参照光路に挿入されたj 番目光学材料素子の光軸に沿った距離、αi はi 番目の被検側光学材料素子のλ0 近傍の波長に対する屈折率の対波長変化率、αj はj 番目の参照側光学素子のλ0 近傍の波長に対する屈折率の対波長変化率、(dm)i は被検光学部品を通過する光束の各光線がi番目の被検側光学材料素子を通過する距離の平均的な値、(dm)j は干渉に寄与する有効な参照側光束の各光線がj 番目の参照側光学材料素子を通過する距離の平均的な値、L は光源のコヒーレンス長、N は参照光が同一光路を通る回数で、該干渉計がトワイマン・グリーン型の場合には2であり、マッハツエ ンダー型の場合には1とする。
IPC (3件)：
G01B 9/02
, G01B 11/24
, G01M 11/00
