特許
J-GLOBAL ID：200903082171497215
ミラー駆動機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-322801
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118330
出願日： 1991年12月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】2軸駆動および位置オフセットのできるミラー駆動装置を提供する。【構成】長手方向の両端で弾性ヒンジ5a〜8a,5b〜8bによってそれぞれ支持された圧電アクチュエータ1〜4は、ミラー10を取り付けた支持台9と固定用部材11の間に配置されている。圧電アクチュエータ1と2,3と4がそれぞれ一組にされて互いに直交するように配置されている。この結果、圧電アクチュエータ1,2はミラー10をX軸駆動、圧電アクチュエータ2,4はY軸駆動する。
請求項（抜粋）：
光ビームを表面で反射するミラーと、印加電圧により長手方向に伸縮する4個の圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータそれぞれの一端を支持するとともに前記圧電アクチュエータの伸縮によりヒンジのバネ面が屈曲する第1の弾性ヒンジ群と、一面には前記ミラーの裏面を取り付けるとともに他面にはヒンジのバネ面がほぼ平行となるように前記第1の弾性ヒンジ群を取り付けたミラー取付用支持台と、前記圧電アクチュエータそれぞれの他端を支持するとともに前記圧電アクチュエータの伸縮によりヒンジのバネ面が屈曲する第2の弾性ヒンジ群と、一面にはヒンジのバネ面がほぼ平行となるように前記第2の弾性ヒンジ群を取り付けた固定用部材とを有し、前記4個の圧電アクチュエータが、2個一組にされて他の一組とは互いに直交するように配置されていることを特徴とするミラー駆動機構。
IPC (3件)：
G02B 26/10 104
, G02B 7/198
, G11B 7/09
