特許
J-GLOBAL ID：200903082175962346
基板搬送システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-314254
公開番号（公開出願番号）：特開平11-135598
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 基板を迅速且つ適切に搬送することができる基板搬送システムを提供する。【解決手段】 メインコントローラ14がメカコントローラ15により搬送ロボット7の動作を制御して、反応管1内から取り出されたボート4に装填されていたウェーハwを搬送途中で停止させ、温度計9が停止された基板の温度を測定する。そして、温度計9によって測定された基板の温度がメインコントローラ14の保持しているカセット11へのウェーハ搬送の基準となる設定温度未満になった場合に、メインコントローラ14がメカコントローラ15により搬送ロボット7の動作を制御して搬送途中に停止された基板をカセット11に搬送させる。したがって、熱を有している反応管1等から離れた搬送途中の場所にウェーハを停止させて冷却させるので、当該ウェーハに対する冷却を迅速に行うことができるとともに、搬送を迅速に行うことができる。また、設定温度以上の温度のウェーハがカセットに搬送されることを防ぐことができる。
請求項（抜粋）：
基板に対して加熱処理を施す処理装置から搬送手段によって基板を取り出して、所定の搬送位置へ搬送させる基板搬送システムにおいて、搬送手段の動作を制御して、処理装置から取り出した基板を搬送途中で停止させる第1搬送制御手段と、停止された基板の温度を測定する温度測定手段と、搬送位置への基板搬送の基準となる所定の基準温度を保持する基準温度保持手段と、温度測定手段によって測定された基板の温度が基準温度保持手段に保持された基準温度未満になった場合に、搬送手段の動作を制御して搬送途中に停止された基板を所定の搬送位置に搬送させる第2搬送制御手段と、を備えたことを特徴とする基板搬送システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, C23C 16/44 F
