特許
J-GLOBAL ID：200903082178891580

静電容量型力学量センサ

発明者：
田村 学

田村 学 について


出願人/特許権者：
アルプス電気株式会社

アルプス電気株式会社 について


代理人 (1件)： 青木 宏義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-254739
公開番号（公開出願番号）：特開2007-064919
出願日： 2005年09月02日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：
【課題】基板と可動電極との間の密閉した空間内のガスの存在によるセンサの性能低下を防止することができ、しかもガストラップ機能による大型化を回避した、圧力センサ及び加速度センサを一体化した静電容量型力学量センサを提供する。【解決手段】第1のガラス基板11の主面11a上に、圧力センサ用の固定電極14a及び加速度センサ用の固定電極14bが形成されている。固定電極14aの上方に感圧ダイヤフラム16aが配置され、固定電極14bの上方に揺動部材16bが配置されるように、シリコン基板16を第1のガラス基板11上に接合する。さらに、シリコン基板16上には、揺動部材16bが内包されるように第2のガラス基板18が接合される。圧力センサ側のキャビティ17aと、加速度センサ側のキャビティ17b,17dとが連通している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
静電容量により圧力を検知する圧力センサと、静電容量により加速度を検知する加速度センサとを並設してなる静電容量型力学量センサであって、相互に背向する一対の主面を有し、一方の前記主面上に形成された前記圧力センサ用の第1固定電極及び前記加速度センサ用の第2固定電極を有する第1基板と、前記第1固定電極と所定の間隔をおいて対向して配置された前記圧力センサ用の第1導電性可動部及び前記第2固定電極と所定の間隔をおいて対向して配置された前記加速度センサ用の第2導電性可動部を有する第2基板と、前記第2導電性可動部を内包するように少なくとも前記第2基板上に配置された第3基板と、を具備し、前記第1及び第2基板は、前記第1及び第2固定電極を内包し、前記圧力センサの領域と前記加速度センサの領域とで連通する第1キャビティが形成されており、前記第1キャビティが封止されるように接合されていることを特徴とする静電容量型力学量センサ。
IPC (5件)：
G01L 9/00 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84 ,  G01L 17/00 ,  B60C 23/04
FI (5件)：
G01L9/00 305A ,  G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z ,  G01L17/00 301B ,  B60C23/04 G
Fターム (28件)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE25 ,  2F055FF43 ,  2F055GG01 ,  2F055GG11 ,  4M112AA01 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA11 ,  4M112CA13 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA02 ,  4M112DA05 ,  4M112DA13 ,  4M112DA15 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA13 ,  4M112FA20
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (9件)
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