特許

J-GLOBAL ID：200903082182181163

板状体の搬送方法およびその装置

発明者： 夏堀 勝利
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-287007
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102286
出願日： 1991年10月07日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【目的】 キャリヤに収容された基板の傾きをフォトセンサーの出力から算出してハンドの上昇量を制御することにより、基板の受渡しを確実に行う。【構成】 キャリヤ2を載置するキャリヤ載置台3を下降させながら、発光素子4および受光素子5からなるフォトセンサーによって、キャリヤ2内に収容された基板1aの最下端および最上端を検出する。基板1aの最下端がハンド6から所定の高さの位置まで下降したときに、ハンド6をキャリヤ2内に挿入し、基板1aの下面に向ってハンド6を上昇させる。ハンド6の上昇量は、フォトセンサーの出力から演算器13によって算出された基板1aの傾き量に応じて制御される。ハンド6は基板1aの下面に接触してこれを吸着し、基板1aをキャリヤ2から搬出する。

請求項（抜粋）：

垂直方向に移動する板状体の下面の位置および傾き量を検出する工程と、前記板状体の下面が所定の位置に到達したとき、前記板状体の下方に吸着ハンドを位置させる工程と、ついで前記板状体の下面に向って前記吸着ハンドを上昇させる工程と、前記吸着ハンドの上昇量を、前記板状体の傾き量に応じて変化させる工程とからなる板状体の搬送方法。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  G05D 3/12 301 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66