特許
J-GLOBAL ID:200903082182574459
二次イオン質量分析計
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-053726
公開番号(公開出願番号):特開平6-267496
出願日: 1993年03月15日
公開日(公表日): 1994年09月22日
要約:
【要約】【目的】二次イオン質量分析計において、同時に二次電子もしくは質量分析される二次イオンとは逆極性の二次イオンを検出できるようにする。【構成】二次イオン7を質量分析計5に導く二次イオン引き出し機構4における電極として網状あるいは穴のあいた板状の電極を用い、質量分析計5に導入される二次イオン7と同時に発生する二次電子もしくは質量分析計に導入される二次イオンと逆極性の二次イオン11を二次粒子検出器12に導入する。二次粒子検出器12で得られた像データは像データ処理・表示装置13へ送られ、二次粒子像を表示する。【効果】試料表面の元素分析と同時に分析時の試料表面観察が可能となる。
請求項(抜粋):
一次粒子を試料上に照射し、試料から発生する二次イオンを質量分析計に導く電場として球面あるいは円筒状の電場を用いる二次イオン質量分析計において、前記球面あるいは前記円筒状の電場を形成する電極の少なくとも一部が網状あるいは穴のあいた板状であることを特徴とする二次イオン質量分析計。
IPC (2件):
引用特許:
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