特許
J-GLOBAL ID：200903082184039666
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-280574
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209040
出願日： 1997年10月14日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 マスクの熱膨張に起因して、マスクパターン像の総合重ね合わせ精度が悪化することを防止する。【解決手段】 所定波長域の露光光によりマスクを照明し、マスク上のパターンを感応基板上に露光する露光装置において、マスクを保管する保管手段と、保管手段と露光位置との間で、前記マスクを搬送する搬送手段と、保管手段内のマスクを加熱する加熱手段とを有する構成とした。
請求項（抜粋）：
マスクに形成されたパターンを基板上に転写する露光装置において、真空状態で断熱性を有するコア材と、該コア材を真空状態で包み通気性を有しない袋とからなる真空断熱部材を備え、当該露光装置の少なくとも一部に前記真空断熱部材を設けたことを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 516 E
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 502 H
, H01L 21/30 520 Z
