特許
J-GLOBAL ID：200903082188005278
試料像の移動制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-272153
公開番号（公開出願番号）：特開平6-124677
出願日： 1992年10月12日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【目的】 走査電子顕微鏡等の荷電粒子線装置において、観察角度調整の不便さを解決し、操作の効率化を図る。【構成】 表示器12上の試料像に重畳して矩形カーソルを描かせ、カーソル回転指令手段を有するカーソル移動指示器14からの情報によって、中央制御回路10がステージ8を移動させたり、偏向器3、4の電流値を制御して荷電粒子線の試料上での位置を変化させ、矩形パターンのカーソルで囲んだ部分が表示器12の画面いっぱいに、画面と整列した角度で表示されるよう試料像の移動と倍率の変更、更に観察角度の変更を同時に行なうようにした。
請求項（抜粋）：
電子ビーム等の荷電粒子線で試料面上の所望の領域を2次元的に走査する電子光学系と、前記試料を載置し、試料の位置を前記電子光学系の軸に垂直な面内で機械的に移動する試料移動手段と、前記荷電粒子線による走査によって試料から得られる信号に基づいて試料像を表示器に表示する表示手段と、前記電子光学系や前記試料移動手段を制御すると共に、前記試料像に重畳して矩形のカーソルを表示させる中央制御回路と、前記カーソルの前記表示器上での位置や大きさを前記中央制御回路に指示するカーソル指示器と、を備えた試料像の移動制御装置に於いて、前記カーソル指示器は、前記カーソルを任意の回転角度で表示させるカーソル回転指令手段を有し、矩形のカーソルを表示する前記中央制御回路は、前記カーソル回転指令手段から前記カーソルの回転角度情報を得て、前記カーソルで指示された領域内の試料像を拡大して前記表示器の画面に画面と同じ角度で表示させるように、前記電子光学系を制御する事を特徴とする試料像の移動制御装置。
IPC (2件)：
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