特許
J-GLOBAL ID：200903082192126381
整合装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-307488
公開番号（公開出願番号）：特開平9-143715
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：
【要約】【課題】 バリアブルコンデンサを二つ用いた従来の高周波の整合範囲で整合がとれない場合、新たに固定コンデンサを追加したり予め巻き数を変えインダクタンスを違えておいたコイルと交換したりして、可変できる範囲をずらす必要があり、負荷装置毎に異なる整合装置を用意しなければならなくなる。【解決手段】 整合装置1は、高周波電源装置5に一端2aを接続し他端2bを接地して配設される第1のバリアブルコンデンサ2と、この第1のバリアブルコンデンサ2の上記一端2aに可変端3aを接続しインダクタンスを可変する可変インダクタ3と、この可変インダクタ3の固定端3bに一端4aを接続し他端4bを負荷装置6に接続する第2のバイリアブルコンデンサ4とを備えて成る。
請求項（抜粋）：
高周波電源装置から出力される高周波電力を負荷装置に供給する際に、該高周波電源装置と該負荷装置間に挿入されて高周波の整合をとる整合装置において、上記高周波電源装置に一端を接続し、他端を接地して配設される第1の可変容量手段と、上記第1の可変容量手段の上記一端に可変端を接続し、インダクタンスを可変する可変インダクタ手段と、上記可変インダクタ手段の固定端に一端を接続し、他端を上記負荷装置に接続する第2の可変容量手段とを備えることを特徴とする整合装置。
IPC (3件)：
C23C 14/40
, H01F 21/02
, H01L 21/203
C23C 14/40
, H01F 21/02
, H01L 21/203 S
