特許
J-GLOBAL ID:200903082200899727

感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-284913
公開番号(公開出願番号):特開2008-102326
出願日: 2006年10月19日
公開日(公表日): 2008年05月01日
要約:
【課題】高速現像性(未露光部)と優れた耐現像液性(露光部)により、解像度・密着性を向上させ、また、現像液における分散性を良好にし、且つ、エッチング液の発泡を抑制する感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法を提供する。【解決手段】(A)バインダーポリマーの成分(重合性単量体)としてアクリル酸ブチルと、(B)エチレン性不飽和光重合性モノマとして多官能(反応部位(不飽和二重結合)が二つ以上)メタクリレート化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)増感剤とを含む感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A)バインダーポリマーの成分(重合性単量体)としてアクリル酸ブチルと、(B)エチレン性不飽和光重合性モノマとして多官能(反応部位(不飽和二重結合)が二つ以上)メタクリレート化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)増感剤とを含む感光性樹脂組成物。
IPC (7件):
G03F 7/033 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06 ,  C08F 2/44 ,  C08F 265/04
FI (7件):
G03F7/033 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 502 ,  H05K3/00 F ,  H05K3/06 J ,  C08F2/44 C ,  C08F265/04
Fターム (49件):
2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC43 ,  2H025CA03 ,  2H025CA28 ,  2H025CA44 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CC13 ,  2H025EA08 ,  2H025FA17 ,  4J011AC04 ,  4J011PA69 ,  4J011PC08 ,  4J011QA12 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA45 ,  4J026AC23 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA30 ,  4J026BB06 ,  4J026DB36 ,  4J026FA05 ,  4J026GA06 ,  4J026GA07 ,  5E339AB02 ,  5E339AD03 ,  5E339BC02 ,  5E339BD11 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE16 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339GG01
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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