特許
J-GLOBAL ID:200903082200899727
感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-284913
公開番号(公開出願番号):特開2008-102326
出願日: 2006年10月19日
公開日(公表日): 2008年05月01日
要約:
【課題】高速現像性(未露光部)と優れた耐現像液性(露光部)により、解像度・密着性を向上させ、また、現像液における分散性を良好にし、且つ、エッチング液の発泡を抑制する感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法を提供する。【解決手段】(A)バインダーポリマーの成分(重合性単量体)としてアクリル酸ブチルと、(B)エチレン性不飽和光重合性モノマとして多官能(反応部位(不飽和二重結合)が二つ以上)メタクリレート化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)増感剤とを含む感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A)バインダーポリマーの成分(重合性単量体)としてアクリル酸ブチルと、(B)エチレン性不飽和光重合性モノマとして多官能(反応部位(不飽和二重結合)が二つ以上)メタクリレート化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)増感剤とを含む感光性樹脂組成物。
IPC (7件):
G03F 7/033
, G03F 7/004
, G03F 7/027
, H05K 3/00
, H05K 3/06
, C08F 2/44
, C08F 265/04
FI (7件):
G03F7/033
, G03F7/004 512
, G03F7/027 502
, H05K3/00 F
, H05K3/06 J
, C08F2/44 C
, C08F265/04
Fターム (49件):
2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AA14
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC43
, 2H025CA03
, 2H025CA28
, 2H025CA44
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB16
, 2H025CC13
, 2H025EA08
, 2H025FA17
, 4J011AC04
, 4J011PA69
, 4J011PC08
, 4J011QA12
, 4J011UA01
, 4J011VA01
, 4J011WA01
, 4J026AA45
, 4J026AC23
, 4J026BA27
, 4J026BA28
, 4J026BA30
, 4J026BB06
, 4J026DB36
, 4J026FA05
, 4J026GA06
, 4J026GA07
, 5E339AB02
, 5E339AD03
, 5E339BC02
, 5E339BD11
, 5E339BE13
, 5E339CC01
, 5E339CC02
, 5E339CD01
, 5E339CE11
, 5E339CE16
, 5E339CF16
, 5E339CF17
, 5E339CG04
, 5E339GG01
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)